電子束輻照相對于金屬滲透工藝的優(yōu)勢：
簡化生產(chǎn)設(shè)備；
適用各種尺寸的晶園輻照和芯片輻照；
精確和可重復(fù)性生產(chǎn)；
退火可穩(wěn)定的完全恢復(fù)；
室溫操作；
無重金屬污染；
根據(jù)生產(chǎn)工藝，能在不同工序中完成。
電子束輻照處理的電源管理器件：
快復(fù)二極管 Fast recovery Diodes (Diodes);
晶閘管 Thyristors/Gate Turn-Off Thyristors(GTO);
電力整流器 Power Rectifier;
雙極結(jié)晶體管 Bipolar Junction Transistors(BJT);
可控硅，硅可控整流器 Silicon Controlled Rectifiers(SCR) ;
IGBT Insulated Gate Bipolar Transistors(IGBT) ;
MOSFET Power MOSFET(their body diodes).
