真空抽氣系統(tǒng)安裝在電子輻照加速器主廳鋼筒底座下面的四通管兩側(cè)，由FF160/620C型渦輪分子泵和SP-400型濺射離子泵機(jī)組組成。推薦運(yùn)行時先啟動分子泵機(jī)組，然后利用分子泵啟動離子泵，待后者正常工作后，即可關(guān)閉分子泵、機(jī)械泵機(jī)組。
真空測量采用B-A規(guī)數(shù)顯式真空計，真空計可向控制臺輸出連鎖信號，以實(shí)現(xiàn)與真空度有關(guān)的連鎖控制。
兩個插板閥為真空操作的方便而設(shè)。當(dāng)因某種需要（如更換鈦箔）必須對系統(tǒng)放大氣時，可以關(guān)閉四通上方的插板閥，保持加速管真空狀態(tài)。
