電子束離開(kāi)加速管后經(jīng)漂移管進(jìn)入輻照廳。穿過(guò)掃描磁鐵組件時(shí)，在三角波磁場(chǎng)的作用下，進(jìn)行X和Y相互垂直兩個(gè)方向的掃描。最后經(jīng)長(zhǎng)條形的鈦窗引出。鈦箔的厚度既要有足夠的強(qiáng)度以抵抗真空壓力，又要盡量減少電子束在穿越時(shí)的能量損耗。我們?nèi)?.04mm。即使如此，鈦箔上的能耗仍舊相當(dāng)可觀，因此沿鈦窗安裝了一把風(fēng)刀，針對(duì)鈦箔進(jìn)行強(qiáng)風(fēng)冷卻。同時(shí)考慮到用戶有可能使用反射磁鐵，因此掃描窗外表面配水冷卻回路。
在加速管出口至掃描磁鐵之間的漂移管外面，還安裝有聚焦線圈和導(dǎo)向線圈，用以調(diào)節(jié)束流的聚焦和方向。
掃描磁鐵由專用三角波激磁電源供電，X方向的掃描頻率為150Hz，Y方向?yàn)?000 Hz。
